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초소형 주사형 전자현미경, 분해 운반 가능
  • 편집부
  • 등록 2003-03-05 14:23:55
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초소형 주사형 전자현미경, 분해 운반 가능 테크넥스 工房(東京都 町田市, 사장 大野輝昭)은 분해하여 운반이 가능한 초소형 주사형 전자현미경(SEM) ‘Tiny -SEM’을 제품화 03년 3월에 발매한다. 사용목적을 마이크로미터 레벨의 시료관찰에 한정하여 기능을 필요 최소한으로 줄여 저가격을 실현했다. 소형이면서 배율은 최대 4만배까지 대응, 모든 시료를 고정도로 관찰할 수 있다. 가격은 398만엔. 첫해 50대의 판매를 가늠한다. 일반적으로 사용되고 있는 SEM은 1000만엔 이상으로 비싸서 기업의 연구개발분야 등에서 사용하는 케이스가 많았다. 또 광학현미경의 경우는 배율이 낮아 미소한 시료를 관찰하기는 어려웠다. 신제품은 일반적인 SEM과 같은 수준의 기능을 가지면서도 가격을 낮췄다는 것이 특징. 분해능은 약 25나노미터. 시료대는 15밀리미터이며 가동범위는 14×14밀리미터. 시료를 360도 회전할 수 있으므로 여러 각도에서 촬영할 수 있다. 모든 파트를 분해할 수 있고 조립은 약 2시간 정도면 가능하다고 한다. 조작이 간단하며 옥외에서도 사용할 수 있기 때문에 특히 학교의 실험기기로서의 용도를 기대할 수 있다. 테크넥스 工房에서는 전자렌즈 부분에 영구자석렌즈를 채용하여 해상도를 높였다. 영구자석은 렌즈강도를 변경할 수는 없지만 가속전압을 일정하게 함으로써 초점이 흐려지는 일 없이 관찰할 수 있다. (NK)

 

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