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불화칼슘 판상으로 만드는 성형 장치 개발
결정재료개발의 유니온 매터리얼(茨城縣 利根町, 사장 櫻木史郞)은 액정표시장치의 제조공정에서 사용하는 파장 126나노미터광(光) 엑시머램프 조사장치에 사용할 불화칼슘 결정을 판상으로 만드는 성형장치를 개발했다.
인고트(덩어리)에서 잘라내는 종래의 방법에 비해 제조원가가 반 정도라고 보고 있다. 현재 액정유리용 기판의 세정 등에서 주로 사용되고 있는 것은 172나노미터광의 엑시머 광 조사장치이다. 보다 에너지가 높은 126나노미터광의 장치는 불화칼슘 결정의 제조원가가 비싸다는 점에서 이용이 되지 않고 있다. 이 회사는 결정을 판상으로 만드는 성형장치를 개발했다. 장치의 용기 안에 카본제 칸막이를 복수 설비하고 그 속에 액체상의 불화칼슘을 넣고 가압 캡으로 위에서 눌러서 판상으로 고형화한다. 최대 가로세로 36센티, 두께 약 10밀리의 결정을 동시에 약 10장 만들 수 있다. 현재의 사방 36센티의 판상 불화칼슘결정의 제조방법은 직경 50센티 정도의 원통형 인고트를 만들고, 결정을 원반 상태로 잘라낸 뒤에 연마·가공하고 있다. 결정의 판매가격은 사방 30센티미터 1장이 150만 엔 전후로 종래 방법을 사용할 때의 약 반으로 낮출 수 있으리라 보고 있다.
유니온 매터리얼은 이 회사의 성형기술이 제고원가 삭감에 기여하여 126나노미터 광 장치의 보급촉진으로 이어지리라 기대하고 있다. 이 회사는 최근 판상의 불화칼슘 결정의 수주생산을 시작했다.
▼엑시머 램프 조사장치 광원인 엑시머 램프의 진공 자외선에 의해 대상물의 표면 위에 부착한 유기물을 분해한다. 주로 액정 유리기판의 세정 등에 사용되고 있다. 리 기판 사이즈의 대형화에 따라 액정 패널 메이커 등이 엑시머 조사장치의 도입을 추진해 왔다. (일경산업)