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세공채널이 수직으로 배향한 메소플러스 실리카 박막 합성에 성공
  • 편집부
  • 등록 2003-07-07 13:30:20
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세공(細孔)채널이 수직으로 배향한 메소폴러스 실리카 박막 합성에 성공 名古屋, 화인세라믹스센터(JFCC)의 佐木優吉 주임연구원 등은 세공 채널이 막후 방향으로 수직으로 배향한 메소폴러스 실리카 박막의 합성에 성공했다. 종래의 이 박막은 세공 채널이 막면에 평행 배열한 것 밖에 없고, 수직 배향한 것은 처음이라고 한다. 직경 약 3나노미터의 세공이 벌집 모양으로 규칙적으로 늘어서 있고, 저유전률 층간 절연막이나 테라비트급의 기록 미디어 등 IT분야의 기반재료로의 응용이 기대된다. 합성방법은 우선 물 유리를 약 700℃에서 소성, 결정성 규산염으로 만들고, 그것을 물에 녹여 중간체로 층상 폴리규산염 시트(층상 폴리실리케이트)를 생성한다. 다음으로 실온 - 80℃전후, pH 11.5 이하의 조건에서 계면활성제를 넣으면 층상 폴리실리케이트가 변형하여 로드미셀을 형성하는 형태로 세공이 생긴다. 세공은 비정질 실리카 벽으로 가로막힌 거의 6각형의 형상을 이룬다. 직경은 약 3나노미터이고 실리카 벽의 두께는 약 1나노미터. 지금까지 메소폴러스 실리카 박막을 생성하던 중간체는 카네마이트라는 것을 알게 되었고, 결정구조도 밝혀졌다. 이 카네마이트로 된 세공은 막후 방향으로 평행하게만 세공이 생겨서 응용면에서 한계가 있었다. 이번의 층상 폴리실리케이트는 전자선 해석도형으로 카네마이트와 유사한 결정구조이지만, 실리케이트 시트가 박면에 수직으로 적층되어 있는 신규 중간체라는 것을 알게 되었다. (NK)

 

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