光산업 해외기술정보 광디스크 기판 위에 균일한 입경, 굵기를 갖는 은 나노입자와 나노와이어 집합체 3차원 형성기술 개발 산업기술종합연구소의 富永淳二 차세대 광공학연구 라보래터리장(長) 등은 광디스크 기판 위에 균일한 입경, 굵기를 갖는 은 나노입자와 나노와이어 집합체를 3차원 형성하는 기술을 개발했다. 진공제막한 산화은박막을 수소가스 분위기에서 환원하는 것으로 20~30나노미터의 입경이나 굵기로 고밀도, 균일성형할 수 있다. 차세대 초고밀도 광기록용 광전장증강 읽기(よみだし)와 포토닉 결정 등에의 응용을 전망하고 있다. 나노미터 지름의 미소한 피트(나노피트) 사이에는 강력한 전장증강효과가 작용, 화학반응촉진과 전기적 기능이 있다. 특히 귀금속은 내식성과 안정성에서 화학반응촉매와 단일전자소자, 광디바이스 등에의 응용이 기대되고 있다. 그러나 금속착체를 수용액 응집, 가열처리하는 화학법이나 진공제막 초기단계인 도상(島狀) 구조를 이용하는 물리법에서는 고르지 못하게 되는 등 결점이 있었다. 따라서 나노피트의 특성을 살린 광기록용 신호재생을 목적으로 균일성형 가능한 수소환원법을 개발했다. 산화은 박막을 진공법으로 기판 위에 성장시킨 후, 수소와 산소의 혼합 가스 속에서 환원하는 것이 원리. 광디스크에 사용하는 폴리카보네이트 기판 위에 유전체를 두께 20나노미터로 퇴적하고, 그 위에 두께 100나노미터의 산화은 박막을 성장시켜 환원처리함으로써 나노와이어를 형성할 수 있다. 제작한 광디스크에 적외 레이저로 기록하고, 나노와이어 사이에 발생하는 국재(局在) 플라즈몬광을 이용하여 미소기록의 읽기 특성을 평가했다. 그 결과 0.5밀리와트 정도의 저출력에서도 빛의 해석한계 이하인 200나노미터의 마크 신호를 고감도로 읽을 수 있었다. 앞으로 와이어의 배향제어와 나노입자 결정제어기술 등의 개발을 실시하여 실용화할 계획이다. (NK)