이산화티탄 광촉매 박막 300℃에서 소성하는 기술 개발 저내열 대형 유리창에 실용화 가능 산업기술종합연구소 세라믹스 연구부문 메소폴러스 세라믹스 연구팀은 큰 면적이면서 투명한 이산화티탄 광촉매 박막을 약 300℃의 저온에서 소성하는 기술을 개발했다. 내열온도가 낮은 대형 유리창 등에의 실용화가 가능하며, 기술이전 요청에 대응한다. 이번에 개발한 기술은 이산화티탄과 그 박막을 제막하는 유리 등 기판 사이에 중간층으로써 실리카 박막을 형성함과 동시에, 실리카와 이산화티탄의 제막 프로세스에서 특수한 용제를 사용한 용액에 담그는 딥코팅 처리를 한다는 것이 포인트. 우선 실리카 용액에 담가, 건조, 그 다음에 이산화티탄 용액에 담가 건조, 소성한다. 실리카 박막을 중간으로서 사용함으로써 이산화티탄 박막 소성 시에 기판에서 나오는 이온의 영향이 차단되므로, 약 300℃의 저온소성이 가능하게 된다. 또 특수용제를 사용한 딥코팅 처리로 기판의 외형에 관계없이 고밀도, 고순도의 균일한 박막 제막이 가능하게 된다. 각각의 박막은 나노미터 레벨에서 제어할 수 있다. 이산화티탄 광촉매는 환경오염물질을 분해, 제거할 수 있기 때문에 시크하우스 증후군 대책으로 부상하고 있다. 그러나 박막으로 소성할 경우는 550-600℃의 고온이기 때문에 내열온도가 낮은 대형 유리창에는 응용이 불가능했다. 저온에서 가능한 스팩터링 제막은 작은 면적의 것만이 가능하여, 원가 면에서도 문제가 있어 이러한 문제들을 해결할 수 있는 기술이 된다. (NK)