절삭공구 수명 2배로 향상하는 신경질 피막 개발 크롬첨가로 높은 알루미늄 함유율 神戶製鋼所는 절삭공구의 수명을 약 2배로 향상시킬 수 있는 신경질 피막을 개발했다. 현행 공구 피막의 주류인 티탄알루미늄 나이트라이드(TiAlN)에 크롬을 첨가함으로써 피막금속 성분인 알루미늄 조성비율을 향상. 경도와 산화개시온도를 끌어올렸다. 이 피막을 코팅하는 성막장치와 함께 공구 메이커에 성막기술을 단체(單體) 판매한다. 경질피막의 경도를 높이려면 알루미늄을 첨가한다. 단, 티탄과 알루미늄 성막금속의 알루미늄 조성이 60원자%를 넘으면 경질의 결정구조(입방정)에서 연질의 결정구조(6방정)으로 변화하여, 오히려 경도가 저하되어 버린다. 神製은 현행 티탄알루미나이트라이드막에 새로이 크롬을 첨가함으로써 입방정을 유지, 알루미늄 조성을 70원자%까지 높이는데 성공했다. 경도지표인 빅커즈 경도에서 3500(티탄알루미나이트라이드는 약 2800)을 확보. 경도상실을 야기하는 알루미산화 개시 온도를 1000℃(동 약 800℃)로 끌어올렸다. 고경도 재질의 고속 드라이 절삭시험에서, 기존 티탄알루미나이트라이드막에 비해 약 2배의 절삭수명을 얻은 이외에, 티탄알루미나이트라이드막의 결점이었던 저경도 재질에서도 같은 내마모성을 실현. 폭넓은 재료의 고속절삭, 드라이 절삭 등에 대응할 수 있다. 이 회사가 발매한 표면처리성막장치 「AIP-S시리즈」에 탑재할 아크방전 증발 유니트에서 새로운 피막 코팅이 가능. 공구·금형메이커를 비롯한 이 제품의 기존 사용자에게 이 성막기술의 유상공여를 시작했다. 경질피막을 찾는 신규 사용자에게도 장치를 판매한다. 현재 연 25억 ~ 30억엔 규모의 성막 관련장치의 매상고를 전망한다. (NK)