산업기술종합연구소 세라믹 연구부문 데라토리킷 소스 연구팀은 차세대 강유전체 메모리 ‘1T형’에 응용할 수 있는 강유전체 재료 개발에 세계 최초로 성공하였다. 1T형 메모리와 트랜지스터와 강유전체가 있는 구조로 집적도가 높아져 메모리 소자의 소형화, 고용량화가 가능하게 되었다. 저구동전력화도 계획하여 차세대 메모리로서의 개발이 추진되고 있다. 이번에 개발한 (Y, Yb)MnO3박막은 ‘테라토리 킷 소스’라는 용액원료를 사용하여, (Y, Yb)MnO3를 분극축으로 배향시키면서 박막화에 성공한 것이 포인트이다. 엄밀한 화학조성제어와 Mn이온수제어가 쉽기 때문에 메모리 기능발휘에 장애가 되는 박막내 불순물에서 전하를 갖고 움직이는 캐리어생성을 제어할 수 있다. 이 박막을 사용하여 1T형 메모리 구조를 하면 넘친 전류밀도가 1㎠당 10~8이하로 저하한다. 따라서 기억보호 유지의 안전성을 나타내는 극보호 유지성이 105초 이상으로 차세대 메모리 재료로서의 특성을 나타낸다. (Y, Yb)MnO3는 PZT 등의 기존재료 보다 유전율이 1/10~1/2000으로 작고 강유전체 메모리 재료로 적합하다. 이번 개발은 경제산업성 프로젝트 ‘차세대 강유전체 메모리’의 일환으로 실시되었다. 테라킷트법은 같은 그룹의 독자기술로 용액의 조성이 그대로 박막조성과 일치하는 화학용액법의 하나이다. (CJ)