神戶대학 대학원 자연과학연구과의 出來成人 교수는 액상석출법(LPD)에 의해 경사기능을 가진 산화물 박막을 합성하는 프로세스를 확립했다. 수용액 속에서 성막하므로 화학기상성장법(CVD)나 스팩터링 등의 기상법과 비교해서 경사조성을 가진 산화물을 쉽게 양산할 수 있다. 이미 실리콘·티탄계 등 각종 재료에 대해 시작이 끝났으며, 경사기능재료(FGM)의 용도확대로 이어질 듯하다. FGM은 87년에 東北대학 연구팀이 최초로 보고했다. 조성이나 기능이 연속적, 단계적으로 변화한 재료로 항공우주분야나 각종 공업재료, 일렉트로닉스 분야 등에서 연구가 진행되고 있다. LPD는 出來교수 등이 개발한 프로세스로, 수용액 속에서 금속 플올로 착체의 가수분해·평형반응을 이용했다. 저에너지, 저환경부하, 저가격 등과 함께, 단시간 생성이 가능하다는 등의 특징이 있다. 반응용액의 조성이나 반응온도를 제어함으로써 비교적 용이하게 경사조성을 가진 박막을 얻을 수 있다. 이미 실리콘·티탄계, 철·티탄계, 주석·티탄계 등에서 경사박막을 시작했다. 모두 다른 2종류의 미세한 결정이 그라데이션 상태로 배치되고, 열처리해도 조성은 변화하지 않는다는 것을 확인했다. 기판과의 밀착성도 양호하여, 철·티탄·주석 등 3성분계도 성막이 가능하다. 또한 리소그래피 등으로 미세한 틀을 만들어, 수용액 속에서 산화물을 주입하는 LPI(액상충전)법과 조합하면 나노 구조를 가진 FGM을 얻을 수도 있다. (NK)