레이저 솔루션지(京都市 南區, 사장 吉本武)는 양산대응의 레이저 미세가공장치 ‘라퓰러스 MPT-2030’을 지난 3월에 발매했다. 청색발광 다이오드(LED)용 사파이어 기판 등을 마이크로미터 정도(精度)로 최대 최대 75장 연속 가공할 수 있다. 가격은 7700만 엔. 1호기를 수주한 상태고, 3년 후에 15억 엔의 판매를 목표로 하고 있다. 개발한 장치는 출력 10와트로 100나노미터 이하의 가는 선폭의 레이저를 깊게 조사하여 고정도 가공한다. 가공대상물의 외형을 자동 인식하고, 가공 영역에서 확실한 레이저 조사를 실현. 웨하 25장들이 카세트를 3대 셋트할 수 있고, 한 번에 여러 장의 연속가공도 가능하게 했다. 이 회사의 레이저 미세가공장치는 개발·실험용이었으나, 고휘도 LED메이커 중심으로 양산장치의 수요가 확대될 것으로 판단, 제품화했다. 특히 청색 LED를 구성하는 사파이어 기판은 다이아몬드와 견줄만한 경도가 있어 레이저를 사용한 절단가공이 가장 적합하다고 한다. 이 회사는 大日本스크린製造의 100% 자회사로 00년에 설립. 레이저 미세가공분야는 매상고의 60%를 차지하고, 앞으로 주력사업으로 육성할 계획이다. (NK)