다공질 산화티탄 후막화 성공 산업기술종합연구소 세라믹스 연구부문 테라드리키드소스 연구그룹은 화학용액법에 의한 다공질 산화티탄막의 제조 프로세스에서 졸 상의 산화티탄에 폴리에틸렌 그리콜을 흡착시킴으로써 이 막을 후막화하는데 성공했다. 1회의 팁코팅으로 최대 1㎛의 두께를 얻을 수 있어, 10회 반복하면 10㎛의 두께가 가능해진다. 이번에 개발한 제조프로세스의 포인트는 화학용액법 가운데에서도 이 연구팀의 加藤一實 팀장이 제창하고 있는 테러드리퀴드 소스법을 베이스로 한 것. 이 방법은 박막창제 후에 기대하는 구조인 결정미구조를 미리 상정하여 박막전구체 용액에 그것과 유사한 유닛을 만들어 넣어두는 것으로 차세대 강유전체 박막의 저온합성에도 성공했다. 새로운 제법은 우선 티탄인 알콕시드를 가수분해, 크기 10~20㎚의 콜로이드 입자상의 졸로 만들고, 거기에 폴리에틸렌 그리콜을 첨가하여 코팅용액으로 만든다. 유리기판을 그 용액에 담갔다가 끌어올리는 딥코팅으로 도막을 만들고, 그 후 약 500℃에서 소성하여 산화티탄막을 만들었다. 1 회의 딥코팅으로 1㎛의 두께를 얻을 수 있었고, 게다가 나노사이즈 입자와 나노사이즈 공간으로 된 다공질 구조를 갖지고 있었다. 기공률은 63%, 비표면적은 111㎡/g이었다. (CJ)