렌즈나 금형 표면 나노레벨에서 형상 측정하는 ‘나노쉐이프’ 개발 올림퍼스 광학공업은 렌즈나 금형의 표면을 나노레벨(측정분해능 1나노미터 이하)에서 형상측정하는 ‘나노쉐이프’를 개발했다. 자중경사방식을 채용, 접촉형 측정장치로서 업계 최저인 5중량 밀리그램의 저접촉압을 실현했다. 공작기계 시장이 타겟으로 연삭가공기 등에의 도입에 대응한 사양으로 공급한다. 가격은 850만엔 이상으로 12월부터 판매한다. 최근 디지털 카메라나 광통신 등에서의 광학소자, 성형금형은 고정도화가 진행되고 있고, 접촉형 형상 측정에서는 측정대상물에의 타겟이 우려되어 왔다. 이번의 새 장치에서는 이러한 두 개의 과제를 해결한다. 저접촉압은 미소하게 기울어진 에어슬라이드식 접촉 프로브를 이용함으로써 실현했다. 이 접촉 플로브는 자동경사이기 때문에 측정 데이터의 보정을 최소한으로 억제할 수 있다. 고정도 엔코더를 채용함으로써 나노레벨 측정이 가능하게 되었다. (NK)