수정을 효율적으로 경면 연삭하는 기술 개발 연삭액, 물 불필요, 실리카 EPD 지석으로 埼玉대학 대학원 이공학연구과의 池野順一 조교수, 豊橋기술과학대학의 澁谷秀雄 조교 등 연구팀은 수정을 효율적으로 경면연삭하는 기술을 개발했다. 「실리카 EPD 지석」이라고 불리는 지석을 사용하는 것이 포인트로, 한 공정만으로 단시간에 경면이 생긴다. 직경 3인치나 4인치로 요철이 80나노미터 정도의 수정 웨하 표면을 약 4~10분이 경면연삭으로 요철 8 나노미터로 마무리할 수 있다. EPD란 전기영동부착의 뜻. 실리카와 알긴산 나트륨을 물 속에서 섞어 전계를 가하면, 이 둘이 1입자씩 쌍이 되어 양극(陽極) 막대에 모인다. 이것을 물에서 건져내어 절단해서 건조시키면 실리카 EPD 지석이 된다. 실험에서는 실리카 EPD 지석(직경 10밀리미터)가 16개 달린 직경 20센티미터의 지석대금(臺金)을 연삭반 주축 끝 부분에 부착하여 매분 1000회전시켜 수정웨하(매분 50회전)의 표면을 깎았다. 이번 기술에서는 약 4~10분의 경면연삭으로 마무리한데 대해, 종래법에서는 2공정(연삭, 연마)가 필요하여 합쳐서 몇 시간이 걸렸다고 한다. 개발한 기술에서는 물이나 연삭액을 사용하지 않고 경면연삭할 수 있기 때문에 종래의 폐액처리 부담이 줄어들고, 지석과 수정을 잘라낸 찌꺼기 처리만으로 끝난다. 물이나 연삭액을 사용하지 않아도, 열이나 응력에 의한 「변형」(수정의 변형, 파괴, 손상 등)은 없다고 한다. 또 알긴산 나트륨은 실리카 입자를 유지하는 본드의 역할을 하고 있는데, 200 수십 도를 넘으면 유지력을 잃는다. 따라서 연삭 찌꺼기가 지석표면에 끼는 「막힘」이 일어나지 않아, 막힘 해소를 위해 지석표면을 깎아내는 「날 세우기」도 불필요하다. 池野 조교수는 실리카 EPD 지석과 수정이 스침으로써 「메카노 케미컬반응」이라는 화학반응이 일어나 효율적으로 경면연삭이 되는 것은 아닐까 보고 있다. (NK)