다중자극(磁極) 마그네트론 스팩터 장치 시작기 완성 성막속도 매분 0.5마이크로미터 廣島공업대학의 川畑敬志 교수 등 연구팀은 니켈(Ni)과 코발트의 강자성 재료의 박막을 고품질로 형성하는 다중자극 마그네트론 스팩터 장치의 시작기를 완성했다. 廣島縣立 西部공업기술센터에서 관계자에게 공개했다. 타깃 재료의 측면에 전극을 배치하여 침식영역을 넓혀, 최고 두께 8 밀리미터에서 성막속도가 매분 0.5마이크로미터라는 세계 최고속화를 실현했다. 광택·밀착성도 우수 도금이 곤란한 유리기판이나 마그네슘 합금기판 등에도 성막할 수 있고, 무전해 도금 이상의 높은 생산성을 가진 성막 장치의 실용화에 탄력이 붙을 것이라고 한다. 이 장치는 다중자극 마그네트론 스팩터 건, 진공성막장치, 고속시의 이상방전방지대책을 실시한 고출력 RF-DC전원 시스템으로 구성. 공개시험에서는 스팩터 성막실에 직경 200밀리미터, 두께 8밀리미터의 타깃 재료에 아르곤 등 이온화한 스팩터 건을 대고 원자를 분출시켜 기반 표면에 박막을 형성하는 공정을 소개했다. 종래의 마그네트론 스팩터법에서는 Ni 타깃 두께 2밀리미터에서 Ni 성막속도가 매분 0.004마이크로미터에 지나지 않았으나, 속도 125배를 실증. 막 특성에 있어서도 광택성, 밀착성 모두 도금보다도 우수하다는 것이 판명되었다. 전자 실드성은 도금의 100배 이상을 실현하였고, 습식 도금으로 대체가능한 고생산성 성막 장치의 실용화에 길을 열었다. 이 장치는 2000년도의 신에너지·산업기술종합개발기구(NEDO)의 위탁연구사업으로, 관리법인이 중국기술진흥센터. 장치의 개발에는 廣島縣立 西部공업기술센터와 廣島三容眞空(廣島縣 庄原市), 애드테크플라즈마 테크놀러지(동 福山市), 旭製作所(동 大竹市), 日本파카라이징 廣島공장(山口縣 下松市)가 산학관 컨소시엄(연구공동체)로서 참가했다. (NK)