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공개특허 특2003-0044091 실리콘 웨이퍼와 파이렉스 유리 접착을 위한 에폭시 도포패턴 -삼성전자주식회사-
  • 편집부
  • 등록 2003-08-29 02:36:46
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본 발명은 원형의 실리콘 웨이퍼와 파이렉스 유리 접착을 위한 에폭시 도포 패턴에 있어서, 상기 실리콘 웨이퍼의 중심을 지나서 일직선으로 도포되는 적어도 세 개 이상의 에폭시 도포 라인이 일정 각도 간격으로 도포되는 에폭시 도포 패턴을 개시한다. 또한, 본 발명은 직사각형 실리콘 웨이퍼와 파이렉스 유리 접착을 위한 에폭시 도포 패턴에 있어서, 상기 실리콘 웨이퍼의 중심을 지나 길이방향을 따라 일직선으로 도포되는 수평 에폭시 도포 라인과 상기 실리콘웨이퍼 상에 수평 에폭시 도포 라인의 수직 방향으로 등간격으로 도포되는 적어도 두 개 이상의 수직 에폭시 도포 라인을 포함하는 에폭시 도포 패턴을 개시한다. 상기와 같은 에폭시 도포 패턴은 실리콘 웨이퍼와 파이렉스 유리 접합시 기포 발생을 최소화하므로써, 생산되는 제품의 신뢰성을 향상시켰으며, 또한 불량품 발생을 억제하여 생산성을 향상시키게 되었다.

 

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