기업 유휴 반도체 장비, 공공나노팹으로…첨단 세라믹 연구 인프라 새판 짜야

- DB하이텍, 8인치 공정장비 무상 이전

- 750억 원 규모 ‘모아팹’ 사업 본격화

구혁채 과학기술정보통신부 제1차관이 6일 오전 충청북도 음성군 DB하이텍 상우캠퍼스에서 열린 ‘DB하이텍-모아팹 중고장비 이전 협약식’ 에서 기념촬영을 하고 있다. (왼쪽부터) 신중식 DB하이텍 구매물류팀장 상무, 백성기 나노융합기술원 부원장, 이경엽 국가나노인프라협의체 사무국장, 양승주 DB하이텍 CFO 부사장, 이병훈 나노융합기술원장, 조기석 DB하이텍 대표이사 사장, 구혁채 제1차관, 박흥수 나노종합기술원장, 임성규 나노종합기술원 본부장, 김재승 DB하이텍 생산본부장 상무, 김동준 과학기술정보통신부 원천기술과장. (자료제공: 과기정통부)

과학기술정보통신부가 민간 반도체 기업의 유휴 장비를 공공 연구인프라로 이전하는 새로운 협력 모델을 본격 가동한다. 노후화된 공공 나노팹 장비를 첨단 반도체 공정장비로 교체해 산·학·연 연구개발과 기업 기술사업화를 동시에 지원하는 것이 핵심이다.

이번 사업은 반도체 산업뿐 아니라 MEMS 센서, 첨단 세라믹 공정, 차세대 패키징, 반도체 소재·부품 연구개발까지 폭넓게 활용될 것으로 기대되면서 국내 첨단세라믹 산업에도 적지 않은 파급효과가 예상된다.

민간 유휴장비, 국가 연구자산으로 전환

과기정통부는 8월 6일 충북 음성 DB하이텍 상우캠퍼스에서 ‘DB하이텍-모아팹(MoaFab) 중고장비 이전 협약식’을 개최했다고 이날 밝혔다.

이번 협약은 지난해 3월 과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍이 체결한 업무협약(MOU)의 후속조치다. DB하이텍은 자사의 8인치 파운드리 유휴장비를 나노종합기술원과 나노융합기술원에 무상 이전하며, 정부는 이를 활용하는 공공 연구인프라를 단계적으로 확대할 계획이다.

750억 원 투입… ‘모아팹’으로 전국 공공나노팹 연결

정부는 올해부터 2026~2033년 총 750억 원 규모의 ‘모아팹 중고장비 활용 지원사업’을 추진한다. 그동안 공공나노팹은 노후 장비 비중이 높아 기업 수요를 충분히 지원하지 못한다는 지적이 이어져 왔다.

이에 따라 정부는 전국 공공나노팹을 하나의 플랫폼으로 연결하는 모아팹(MoaFab) 체계를 구축하고, 기업이 사용하던 첨단 장비를 이전·재구축해 연구개발과 기술실증 능력을 높일 계획이다.

이 사업은 단순한 장비 이전을 넘어 ▲공공 연구시설 공동활용 ▲산학연 기술개발 ▲기술사업화 ▲전문인력 양성까지 연계하는 국가 반도체 연구 생태계 구축 사업으로 추진된다.

세라믹 공정·MEMS 연구 경쟁력 기대

이번에 이전되는 장비 가운데 세라믹 및 반도체 소재 연구와 직접적인 연관성이 높은 장비가 포함돼 있다.

나노종합기술원에 8인치 LPCVD(Horizontal Furnace) 증착장비를 도입한다. 이 장비는 MEMS와 각종 센서 제작에 필요한 구조막을 균일하게 형성하는 장비로, 세라믹 박막과 기능성 박막 증착 연구에도 활용도가 높다. 20년 이상 사용한 노후 장비를 대체하면서 생산성이 기존 대비 2배 향상될 것으로 기대된다.

나노융합기술원에 8인치 건식 식각(HF Etcher) 및 FDTS 표면코팅 장비를 구축한다. 이 장비는 차세대 피지컬 AI용 초미세 센서 제조 공정에서 하부 희생층을 제거하고 소수성 코팅을 구현하는 핵심 장비다. 공정 단축과 함께 초미세·초박막 부품 손상을 줄여 센서 품질 향상에 크게 기여할 것으로 전망된다.

첨단세라믹 산업에도 새로운 연구 기반 마련

이번 정책은 반도체 산업 지원에 머물지 않는다. 최근 첨단세라믹 산업은 MEMS 센서, RF 부품, 전력반도체, AI 반도체 패키징, 기능성 박막, 고내열 세라믹 공정 등 반도체 제조기술과의 융합이 빠르게 확대되고 있다. 특히 공공나노팹은 대학과 연구기관, 중소기업이 첨단 공정을 직접 활용할 수 있는 사실상 유일한 연구 인프라다. 

그동안 수백억 원에 이르는 반도체 장비 가격 때문에 연구 접근성이 제한됐지만, 민간의 유휴 장비를 국가 연구자산으로 재활용하는 이번 모델이 정착될 경우 첨단세라믹 분야 연구개발 비용 절감과 기술사업화에도 긍정적인 효과를 가져올 것으로 기대된다.

아울러 AI 반도체용 세라믹 패키징, MEMS 센서용 세라믹 소재, 고기능 박막공정 등 미래 전략산업과의 연계도 한층 강화될 전망이다.

구혁채 과기정통부 제1차관은 “DB하이텍의 중고장비 이전은 민·관이 함께 반도체 생태계 선순환 구조를 만드는 대표적인 상생 모델”이라며 “공공나노팹 연구 인프라를 지속적으로 고도화해 연구계와 산업계가 체감할 수 있는 첨단 반도체·나노기술 혁신과 전문인력 양성을 적극 지원하겠다”고 밝혔다.

[Ceramic Korea (세라믹뉴스)=이광호 ]