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[ 통권 186호 | ]

청자색 레이저용 질화갈륨 기판 새로운 제조법 개발
  • 편집부
  • 등록 2003-11-25 23:54:03
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日立전선은 청자색 레이저용 질화갈륨 기판에 참여한다. 사파이어의 표면에 질화티탄 박막을 만들고, 그 위에 질화갈륨의 결정을 성장시키는 새로운 제조법을 개발. 직경 2인치의 기판을 양산하여 결정의 흐트러짐을 종래의 1만분의 1로 억제할 수 있다. 청자색 레이저는 차세대 대용량 광디스크 녹화재생기에 사용한다. 日亞화학공업과 三洋전기가 올해 안에 양산을 할 예정이다. 日立전선은 새 제조법을 발판으로 원료에 대한 제품의 비율이 높은 2인치 기판으로 시장을 개척한다. 새 제조법에서는 우선 기판을 만드는 토대가 되는 사파이어에 질화티탄 막을 붙인다. 질화갈륨 결정이 성장할 때 질화티탄 막에는 수 ㎛의 그물모양의 틈이 생기게 된다. 질화갈륨의 결정구조에 대한 사파이어의 영향이 적어 원자레벨에서 모양이 균일한 결정이 형성된다. 결정이 두께 약 0.3㎜가 되면, 완성기판으로서 사파이어에서 벗겨낸다. 질화티탄을 경계로 쿠키를 자르듯이 분리할 수 있어 기판을 손상시키는 경우가 적다. 청자색 레이저는 기판 위에 만드는 두께 수 ㎛의 질화갈륨 층이 발광하는 구조. 기판에 사파이어를 만드는 방식에서는 日亞화학공업이 선행하고 있고 三洋전기는 기판에 질화갈륨을 사용할 레이저를 개발했다. 질화갈륨 기판은 사파이어 기판과 비교하여 표면에 만드는 발광층의 결정에 전위결함이 적다고 하다. 기판이 발광층과 동종의 화합물인 경우, 기판과 마찬가지로 같은 결정구조의 층이 깨끗하게 쌓아지기 때문이다. 전위가 많은 결정은 빛이 난반사하여 레이저용으로는 사용할 수 없다. 단 질화갈륨 기판을 만들 때도 그대로는 토대가 되는 사파이어의 영향으로 결정구조가 흐트러지기 쉽다. 日立전선은 그 사이에 질화티탄 막을 만들면 전위가 억제된다는 것을 발견하고 새 제조법에 도입했다. (CJ)

 

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