각종 공구ㆍ금형 등의 표면에 미세입자 상태의 다이아몬드 등을 코팅, 수명을 수십 배 연장시켜 주는 초고주파(마이크로웨이브) 응용 플라즈마 발생장치가 국산화 됐다. 중소기업진흥공단은 지난 4월 21일 개발기술지원실 손희식 박사팀이 미국 신기술연구소(IAT) 최원호 박사와 공동으로 공구 등의 표면에 100나노미터 크기의 다이아몬드 등 초경질(超硬質) 미세입자를 코팅할 수 있는 초고주파 플라즈마 발생장치를 국내 첫 개발, 국내외에 특허출원했다. 이 장치는 메탄(CH) 가스 등을 단독 또는 혼합투여하면서 전기적 에너지를 가해 플라즈마 상태로 만들면 미세입자 상태의 탄소(C)가 공구 등의 표면에 다이아몬드의 결정구조로 층층이 쌓이면서 코팅되는 원리를 이용한 것이다.