산업기술종합연구소의 明渡純 연구팀장 등과 TOTO는 금속이나 유리, 플라스틱 등 다양한 기판 위에 상온에서 세라믹스 피막을 만드는 기술을 개발했다고 발표했다. 사방 30센티미터에 두께가 1마이크로(마이크로는 100만분의 1)미터의 박막을 만들 수 있었다. 세라믹스를 열로 녹여 굳히는 종래의 방법에 비해 박막의 제조원가가 반 이하로 줄어 든다고 한다.
TOTO는 박막 표면에 생기는 정전기를 반도체칩 등을 유지하는 장치에 응용, 올 가을에 샘플을 출하한다. 세라믹스로 표면 처리한 흠집이 잘 생기지 않는 부엌가구의 개발도 검토할 생각이라고 한다.
세라믹스 미립자가 들어간 용기를 흔들어서 미립자가 춤추는 상태로 만든다. 기판에 이것을 뿜으면 미립자가 부서지면서 들러붙어 균일한 두께의 박막이 된다. 뿜고 싶지 않은 부분에 금속 덮개를 붙이면 부분적으로 세라믹스 박막을 만들 수도 있다.
상온에서 제작할 수 있으므로 반도체 부품의 절연 등에 사용할 세라믹스막을 플라스틱 기판에 그대로 형성할 수 있다. 접착제를 사용할 경우에 비교해 대폭 얇아져 휴대전화용 등의 슬림형·경량화에도 도움이 된다고 한다.
(NK)
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