과학기술진흥사업단(JST)과 福井縣은 펨트초 레이저에 의한 경질박막표면의 나노가공기술을 공동으로 개발했다. 펨트초 초단펄스 레이저를 경질박막에 조사하여 미세구조를 박막표면에 형성, 레이저 파장과 편광을 변화시켜서 미세구조의 형상, 사이즈를 제어하는 것으로, 세계 최초로 개발했다. 마이크로 머신 등 나노테크놀로지나 자기기록분야에서 극미소 표면의 트라이볼러지 특성을 나노미터 레벨에서 제어, 최적화하는 차세대 요소기술로서 확장성이 높다. 환경부하가 적고, 마찰, 마모, 환경차단성 등이 우수한 TiN나 DLC 등의 고기능 경질박막의 응용 예가 급증하고 있다. 그러나 이들 경질박막은 기계가공이나 화학반응에 의한 제거가 곤란한 난가공재. 이 연구팀은 TiN, DLC 박막에 대한 펨트초 레이저의 표면가공조사실험에서 어블레이션 역치 근방의 낮은 풀엔스(에너지 밀도)에서 조사, 박막표면에 레이저 파장의 1/10~1/5로 상당히 작은 주기적 미세구조가 형성된다는 것을 발견했다. 또한 이 초미세 구조는 레이저의 편광제어로 직선상에서 도트상의 구조까지 패턴을 변화시킬 수 있고, 그 사이즈는 레이저 파장에 비례해서 변화하며 증감이 가능하다는 것을 실증했다. (CJ)