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[ 통권 205호 | ]

고품질 무기산화 금속 막 형성 방법 개발
  • 편집부
  • 등록 2005-07-03 04:06:16
  • 수정 2010-10-25 16:10:43
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Los Alamos 국립 연구소의 초전도체 연구센터에서부터 파견된 연구진과 함께 연구하던 캘리포니아 대학의 과학자들은 polymer-assisted 증착법(PAD)을 이용하여 고품질 무기 금속 산화막을 형성하는 새로운 방법을 개발하였다. PAD 공정은 물을 주된 용매로 사용하여 거의 모든 금속에 대해 고품질의 막을 얻게 해주는 방법이다. 비정질, 다결정 혹은 에피텍시(epitxial) 막을 10에서 수백 nm까지 형성할 수 있다. 연구진들은 타이타늄 다이옥사이드(titanium dioxide), 산화 아연, 스트론튬 타이타네이트(titanate) 그리고 인듐 틴 옥사이드(ITO)를 형성해 보였다. 이 기술을 사용하며 저가의 전자, 광학 재료를 넓은 면적에 불규칙한 표면에도 형성시킬 수 있다. 이 방법은 산화 금속막을 전자 제조 산업에 널리 사용할 수 있는 새로운 길을 열었다고 평가 받고 있다. (ACB)

 

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