과학기술진흥사업단(JST)과 福井縣은 펨트초 레이저에 의한 경질박막표면의 나노 가공기술을 개발했다고 발표했다. 펨트초 초단펄스 레이저를 경질박막에 조사하여 미세구조를 박막 표면에 형성, 레이저 파장과 편광을 변화시켜서 미세구조의 형상, 사이즈를 제어함으로써 세계 최초로 개발했다. 마이크로머신 등 나노테크놀러지나 자기기록분야에서 극미소 표면의 트라이볼로지 특성을 나노미터 레벨에서 제어, 최적화하는 차세대 요소기술로서 확장성이 높다. 연구성과는 福井縣 산업기술센터의 安丸尙樹 연구원(福井高傳 교수), 木內淳介 연구원(아이테크), 宮崎健創 京都대학 교수의 공동연구팀에 의한 것으로 福井縣 지역결집형 공동연구사업(사업총괄=松浦正則 松浦기계제작소 사장)으로 얻었다. 특허출원을 하였고, 조만간 외국논문지의 속보에도 게재 예정. 환경부하가 작고, 마찰, 마모, 환경차단성 등이 우수한 질화티탄(TiN)이나 다이아몬드상 탄소(DLC)등 고기능 경질박막의 응용 예가 급증하고 있다. 그러나 이들 경질박막은 기계가공이나 화학반응에 의한 제거가 곤란한 난가공재. 이 연구팀은 TiN, DLC 박막에의 펨트초 레이저 표면가공조사실험에서 어블레이션 안전치 근방의 낮은 저 풀엔스(에너지 밀도)로 조사, 박막 표면에 레이저 파장의 10분의 1~5분의 1로 상당히 작은 주기적 미세구조가 형성된다는 것을 발견했다. 또한 이 초미세 구조는 레이저의 편광제어로 직선상에서 도트상의 구조까지 패턴을 변화할 수 있고, 그 사이즈는 레이저 파장에 비례하여 변화하여 증감이 가능하다는 것을 실증했다. (NK)