광촉매 반응을 통한 그래핀 패터닝
그래핀은 매우 뛰어난 전하 이동도, 기계적인 유연성, 광학적 투과성, 그리고 화학적인 안정성 덕분에 고성능 전자 소자 개발을 위한 새로운 소재로 각광받고 있다. 하지만 그래핀 일렉트로닉는 밴드갭이 존재하지 않는 난제를 지니고 있다. 이를 제어하기 위해 전자 국한 현상을 유도하는 그래핀 나노리본 또는 그래핀 나노메쉬등의 구조가 연구되고 있다. 이를 제작하는 기술 자체는 많은 시간을 소모하거나, 확장성이 없거나 또는 그래핀 가장자리에 너무 많은 결함 상태를 초래하는 단점이 있다.
중국 Peking University의 Zhongfan Liu 교수가 이끄는 연구진은 미국 Massachusetts Institute of Technology와 공동으로 패턴된 TiO2 마스크의 광촉매 반응을 통해 임의의 모양을 갖는 그래핀 패터닝, 그래핀 겹수의 제어, 국부적인 산화 그래핀 형성 등이 가능함을 증명했다. 연구 결과는 2011년 2월 3일자 J. Am. Chem. Soc.지에 “Photocatalytic Patterning and Modification of Graphene”란 제목으로 게재됐다.
쿼츠(Quartz) 기판 위에 5~15 nm 두께의 Ti를 열증착하고, 600도에서 한 시간 동안 산화시켜 산화 티타늄을 형성했다. 이 후, 크롬 패턴과 함께 광마스크를 완성할 수 있었다. 그리고 화학기상증착법(CVD; Chemical Vapor Deposition)에 의한 그래핀, segregation 메커니즘에 의해 형성된 그래핀, 그리고 환원된 산화 그래핀이 이번 연구에 활용됐다.
자외선(UV; Ultraviolet)을 조사함에 따라, TiO2 광마스크는 전자와 정공을 발생시키며, 주변의 물 분자, 산소 분자와 결합하여, 반응성이 뛰어난 수산화기 라디칼을 생성한다. 이러한 반응성 라디칼은 크롬에 의해 보호된 영역을 제어한 그래핀을 제거하여, 원하는 패턴의 그래핀을 얻을 수 있도록 한다. 광촉매 cutting은 산화 반응으로, 그래핀 가장 자리 부분은 산소 플라즈마 식각 공정과 유사하게 카르보닐기(carbonyl), 수산기(hydroxyl), 그리고 카르복시기(carboxyl)를 포함하고 있다.
광촉매 반응을 이용한 그래핀 패터닝은 가장 자리 부분의 zigzag, armchair 형태를 제어할 수는 없지만, 기존의 패터닝 기술에 비해 다루기 쉽고, 제어가 용이하다. 또한 다중층 그래핀의 경우 초기에 핀 홀 형성에 이어, 평면 방향으로 식각이 진행됨을 입증했다. 이는 그래핀에 존재하는 결함 상태들을 거점으로 그래핀 식각이 시작됨을 알 수 있고, 수직 방향의 식각 속도는 평면 방향에 비해 매우 느리다는 것을 의미한다.
연구진은, TiO2를 포함하지 않는 마스크를 이용하여 2시간 동안 자외선에 노출했을 때는 그래핀에 아무런 변화가 일어나지 않음을 보이고, 그 영향을 명확하게 증명했다. 이 기술은 그래핀 나노 리본을 포함한 다양한 모양의 패터닝이 가능하며, 국부적인 산화 그래핀 형성이 가능한 가격 경쟁력 있는 기술로 평가 된다. GTB

그림 1. (a) Cr 패턴/TiO2 박막/쿼츠 기판으로 이루어진 마스크를 활용한 광촉매 반응 및 그래핀 패터닝에 대한 모식도 (b) 라인 모양의 그래핀 나노 리본 및 G peak의 세기를 화살표를 따라 측정한 삽입 그래프 (c) 광 마스크를 통해 패터닝 된 모습, 삽입된 그림은 마스크 이미지 (d) 환원된 산화 그래핀 박막 위에 글자를 패터닝한 모습 (e) 주기적인 패턴의 RGO 필름 (f) 폭이 다른 그래핀 나노 리본을 형성한 CVD-그래핀, (b~e)의 스케일 바는 50 um, (f)는 10 um

스마트윈도우/광학센서로 활용 가능한 카이랄 네마틱 실리카 필름
Mark MacLachlan이 이Rm는 University of British Columbia(UBC)의 연구팀은 세계최초로 나무펄프로 부터 다공성 카이랄 네마틱구조의 실리카 필름을 합성해 내는데 성공했다고 한다. 연구팀에 따르면 그들이 개발한 실리카 필름은 보는 각도에 따라 색이 변하는 딱정벌레의 등껍질로부터 영감을 받아 개발되었으며 이 실리카필름은 파장가변 반사필터로 스마트윈도우에 적용될 수 있을 뿐 아니라 광학측정소자로도 활용될 수 있다고 한다. Nature지의 최근호에 소개된 Mark MacLachlan연구팀의 논문은 이 물질이 매우 넓은 면적에 걸쳐 수직으로 서있는 구조로 만들어질 수 있다고 소개하고 있다(doi:10.1038/468387a). 다공성 실리카물질이 카이랄 구조를 갖게 하는 데에는 매우 어렵고 까다로운 공정이 수반되어야 한다. “우리연구팀 뿐 아니라 많은 과학자들과 그들의 연구팀들이 카이랄 구조를 가지는 실리카물질을 합성하는 시도를 해왔습니다. 하지만 매우 좁은 PH범위에서만 카이랄 구조를 갖는 실리카물질을 합성되는 조건이 만들어지기 때문에 대다수 연구팀이 카이랄 구조 다공성실리카물질의 합성에 실패했습니다.” UBC의 연구팀은 합성공정 중 셀룰로오스와 실리카의 조성변화를 통해 실리카내부의 나선형 기공들의 모양과 크기를 변화시킬 수 있었으며 이를 통해 다양한 파장의 빛을 선택적으로 반사할 수 있는 다공성 실리카 필름을 합성하는데 성공했다. 연구팀이 개발한 다공성 실리카물질의 또 다른 특징은 실리카 내부의 기공에 물을 채워 넣으면 투명하게 변한다는 것이다. UBC연구팀의 연구원들에 따르면 이 물질을 이용하면 가시광선에서부터 적외선에 이르는 광범위한 파장대의 빛 중 특정파장대의 빛을 반사하는 것이 가능하며 이를 이용할 경우 우리 눈에 보이는 가시광선은 투과하면서도 열을 전달하는 적외선은 차단할 수 있는 단열성 스마트윈도우를 제작할 수 있다고 한다. UBC의 연구팀은 그들이 개발한 실리카물질을 앞서 소개한 스마트윈도우에 적용하는 것 이외에 반도체소자 및 다중반응촉매(Sterospecific Catalytic)로 활용하는 기술에 대한 연구를 진행 중이다. ACB

그림 2. 카이랄 네마틱 구조 실리카 필름은 기공크기의 조절을 통해 다양한 색으로 만들어 질 수 있으며 필름 내부의 기공에 물이 채워지면 투명하게 변하는 특성을 보여준다.

유기트랜지스터
전류 5배로 고속응답
阪大 등 탄소계 나노테크 활용
大阪大學의 橫山正明 특임교수와 山形大學의 中山健一 준교수, 大日本印刷 등은 종래의 5배 이상인 대전류가 통과할 수 있는 유기트랜지스터를 개발했다. 탄소계 나노테크놀로지 소재를 이용한 신구조로 실현했다. 대전류로 증폭할 수 있다는 이점을 살려 구부러지는 디스플레이가 되는 유기EL(일렉트로 루미네센스)용 구동부품 등에 응용을 전망한다.
개발한 유기트랜지스터는 박막상의 전극 사이에「C60」이라고 하는 축구공 모양의 탄소분자(플라렌), 알루미늄, 색소의 각 층을 끼운 구조. 알루미늄층에 전압을 가함으로써 전류를 크게 바꿀 수 있다.
시작한 유기트랜지스터는 종래의 5배 이상의 전류를 흐르게 할 수 있었다.
400기가헤르츠에서 고속 응답한다. 더 개량하여 주파수 10메가헤르츠의 고주파에서 동작하게 되면 통신용도로 응용할 수 있다.
유기트랜지스터를 이용한 구부릴 수 있는 무선장치를 목표로 한다. 대전류로 증폭할 수 있다는 이점을 살리면 빛을 고감도로 검출할 수 있는 센서와 소형 휴대 음악 플레이어에 넣는 앰프 등에도 이용할 수 있다.
신기술은 유기EL을 유기트랜지스터 위에 겹쳐서 가공할 수 있다. 시작품으로 유기EL의 발광을 제어할 수 있다는 것을 확인했다.
디스플레이에 응용하면 트랜지스터의 면적을 줄여서 유기EL의 표시부분을 넓힐 수 있어 화면의 고정세화(高精細化)로 이어진다. 또 고속 응답이므로 깨끗한 동영상을 표시할 수 있다고 한다. 일경산업

Clemson University - 15MW 규모의 드라이브 트레인 풍력발전 테스트 센터 설립
2010년 10월 Clemson University(CU)는 터빈발전기용 드라이브 트레인을 갖춘 세계최대의 테스트 시설이 될 풍력발전 설비 테스트센터의 유치를 축하하는 행사를 거행했다. CU의 테스트센터 설립을 담당하고 있는 관계자들에 따르면 테스트센터의 건설에는 총 1억 달러의 자금이 투입되며 이중 4천5백만 달러는 미국정부의 경기부양법(ARRA:American Recovery and Reinvestment Act)을 통해 형성된 기금으로 지원되며 이는 CU가 현재까지 유치한 프로젝트 중 가장 큰 규모이다. 풍력발전 설비 테스트센터 설립유치는 2004년 신재생에너지 기술과 친환경기술을 개발하고 홍보하기 위해 설립된 기관인 Clemson University Restoration Institute (CURI)의 노력에 의해 이루어 졌다고 해도 과언이 아니다. CURI는 South Carolina에 가장 적합한 신재생에너지, 첨단재료개발과 관련된 연구를 집중적으로 수행하고 있다. CU의 풍력발전 설비 테스트센터가 완공되면 5메가와트에서 15메가와트에 이르는 풍력발전 터빈의 최신 드라이브-트레인 시스템의 성능평가가 가능할 것이라고 한다. 드라이브-트레인 시스템은 풍력발전 터빈의 블레이드에서 발생된 에너지를 발전기의 회전속도 증가를 위해 사용할 수 있게 하는 시스템으로 자동차의 트랜스미션과 비슷한 역할을 한다. “South Carolina주정부와 높은 수준의 연구능력을 가진 CM의 연구원들은 South Carolina를 미국은 물론 전 세계 풍력발전 산업의 메카로 만들기 위해 노력하고 있습니다.”CU의 총장인 James Barker는 이야기 했다. CU의 풍력발전 설비 테스트센터 프로젝트에는 DOE이외에도 미상무부(Department of Commerce), Charleston Naval Complex Redevelopment Authority, South Carolina주 항만청, South Carolina주 교통청 그리고 South Carolina의 민간기업인 Tony Bakker, RENK AG등이 참여하고 있다. CU의 풍력발전 설비 테스트센터는 2012년 3분기 가동을 시작할 예정이며 21개 직종의 새로운 일자리 창출이 가능할 것이라고 한다. ACB

[그림] 드라이브 트레인 풍력발전 테스트 센터의 기공식에서 첫 삽을 뜨고 있는 Clemson University의 풍력발전 테스트 센터 관계자들. 왼쪽에서부터 Clemson University 총장 David Wilkins, South Carolina주 항만청의 Glenn McConnell, South Carolina주 교통청의 Leon Stavrinakis, Clemson시장 Jim Barker, South Carolina주 항만청의 Larry Grooms, 연방항만청의 Lindsey Graham, 연방교통청의 James Clyburn.

보다 고온에서 초전도도
岡山大 유기물의 전자구조 해명
岡山大學의 橫谷尙睦 교수와 岡崎宏之 비상근연구원 등은 岡山大가 발견한 유기초전도물질의 전자구조를 해명했다. 유기분자의 진동이 초전도의 방아쇠가 되고 있다는 것을 알았다. 초전도가 되는 온도는 현재 절대온도 18도(섭씨 마이너스 255도)이지만, 분자구조를 바꿀 수 있게 되면 동 100도(동 마이너스 173도)까지 높아질 가능성이 있다고 한다.
연구에는 고휘도 광과학연구센터와 長崎總合科學大學도 참가했다.
이 초전도물질은 탄소와 수소로 된 육각형 벤젠고리가 5개 지그재그로 이어진 유기「피센」과 칼륨으로 이루어진다. 지금까지 발견된 유기초전도물질 중에서 초전도가 되는 온도가 가장 높아 세계적으로 주목을 받고 있다.
이번에 이 물질의 전자구조를 광전자 분광이라고 하는 기술로 조사했다. 전기전도를 담당하는 점자는 칼륨에서 피센으로 건네져 피센이 구불구불 움직이는 진동이 초전도에 특유의 2개의 전자 페어를 만든다는 것을 알았다.
岡山大에서는 현재 피센 이외의 방향족 분자도 이용하여 초전도물질의 개발을 추진하고 있다. 長崎總合科學大學의 이론 계산으로 피센보다 벤젠 고리가 적은 크리센이나 페난트렌을 사용하면 초전도가 되는 온도는 절대온도 100도까지 높아질 가능성이 있다는 것도 분명히 했다. 개발하면 동 77도의 값싼 액체질소로 식히면 이용할 수 있게 된다. 이 분자들은 석유 속에도 포함되어 있어 정제한 시약은 싼 값에 입수할 수 있다. 일경산업

OSU 연구팀 - 리튬이온 배터리 열화현상의 원인을 규명하기위한 연구 진행
Ohio State University(OSU)의 자동차연구소는 충 방전의 반복 즉 사용시간 증가에 따른 리튬-이온 배터리 열화현상의 원인을 규명하는 연구를 진행하고 있다. Oak Ridge National Lab과 National Institute of Standards와의 공동연구형식으로 진행되고 있는 OSU 자동차 연구소의 이 연구는 자동차산업 분야에서 가장 큰 이슈로 떠오르고 있는 리튬-이온 배터리의 성능개선 및 수명증가에 혁신적인 역할이 기대되는 매우 중요한 연구 분야이다. 현재까지 진행된 연구결과에 따르면 배터리의 수명을 감소에 가장 큰 영향을 준다고 생각되어 왔던 온도변화, 부적합한 충전 속도 등의 외부요인들이 배터리의 수명에 미치는 영향은 미미한 수준이라고 한다. OSU 자동차 연구소의 연구원들은 자동차에 설치된 배터리에서 발생하는 충 방전과 흡사한 주기로 리튬-이온 배터리의 충전과 방전을 반복하여 수명이 다한 배터리를 분해한 후 그 내부의 미세구조 변화를 관찰하는 방식으로 연구를 진행하고 있다. 미국물리학회(American Institute of Physics)는 OSU 자동차연구소의 연구에 대해 다음과 같이 소개하고 있다. “OSU 자동차연구소의 연구원들은 배터리의 수명이 다하면 일단 그 배터리를 분해한다. 분해가 끝나면 그들은 적외선 열 카메라를 이용해 젤리 롤과 같이 말려진 형태를 띤 산화물이 코팅된 1.5미터 길이의 전극을 촬영하고 촬영된 이미지의 분석을 통해 문제가 발생된 전극부위를 찾는다. 그 다음 문제가 발생된 전극부위에 대한 면밀한 관찰이 시작되는데 이를 위해 주사전자현미경(Scanning electron microscopy), 원자힘 현미경(Atomic Force Microscopy), 투과전자현미경(Transmission electron microscopy), 켈빈 탐침력 현미경(Kelvin Probe Microscopy)등의 다양한 첨단 장비들이 동원된다. OSU의 연구원들은 이러한 연구를 통해 리튬-이온 배터리의 빠른 충전과 방전을 위해 전극위에 코팅된 매우 미세한 나노결정구조를 가진 산화물이 충 방전이 거듭되며 거칠어지는 현상을 발견했다. OSU연구팀은 이밖에도 중성자 밀도분석을 통해 리튬-이온 배터리의 충 방전 시 음극과 양극사이에서 왕복을 반복하는 리튬이온들은 전하 전달에 아무런 기여를 하지 않으며 음극으로부터 방출된 리튬이온의 일부가 양극 쪽에 영구적으로 머물게 된다는 사실을 밝혀냈다.” “우리는 수명이 다한 배터리의 음극이 사용하지 않은 배터리의 음극에 비해 현저히 낮은 리튬 농도를 가진다는 사실을 분명히 관찰했습니다.” OSU 자동차연구소의 책임자인 Giogio Rizzoni는 이야기 했다. “음극에서 방출된 리튬의 일부는 양극물질과 영구적으로 결합하게 됩니다.” OSU의 연구원들은 음극이 거칠어지는 현상의 원인이 음극에서의 리튬손실일 것이라는 추측을 하고 있다. 연구팀의 이러한 가정이 사실로 밝혀지면 이 연구결과는 리튬-이온 배터리 생산업체들이 수명이 개선된 배터리를 개발하는데 있어 올바른 방향을 제시해 주는 이정표 역할을 할 것이다. ACB

[그림] OSU의 연구팀은 수명이 다한 배터리를 분해한 후 그 내부의 미세구조 변화를 관찰하는 방식의 연구를 통해 배터리 열화현상의 원인을 규명하고자 한다.

비백금 전극 촉매를 배위고분자로 실현
京都大學의 北川 宏 교수 및 九州大學의 古山通久 교수 연구팀은 다공성 배위 고분자의 전기화학적 촉매활성을 최초로 보고했다.
다공성 배위 고분자는 금속이온과 유기배위자가 교대로 늘어선 정글짐 모양의 구조를 한 물질로, 활성탄, 제올라이트로 이어지는 제3의 다공성 재료로서 가스 흡장 특성과 촉매활성에 흥미가 모아지고 있다. 지금까지 이 연구팀은 다공성 배위 고분자의 일종인 루베안산 구리 및 그 유전체가 전자와 프로톤에 의한 혼합도전성을 보인다는 것을 밝혀냈다.
전도성을 가진 재료가 촉매활성을 보이면 전기화학촉매로서 이용이 가능하다 특히 에탄올산화(EER)촉매는 에탄올 연료전지의 전극 촉매로서 에탄올에서 전기를 빼내기 위해 중요한데, 지금까지 백금합금에 대한 연구가 대부분이었다. 이번 루베안산구리 유전체의 하나, 비스(히드록시에틸)루베안산구리의 EER활성에 대한 연구가 보고되었다.
우선 비스(히드록시에틸) 루베안산구리의 에탄올 흡착특성을 조사하여 약 0.8분자의 흡착을 발견했다. 이것은 세공(細孔) 안에 에탄올의 흡착이 가능한 사이트가 존재한다는 것을 시사하는 결과이다. 또 DFT법에 의한 분자 궤도 계산으로 비스(히드록시에틸)루베안산구리와 에탄올 분자의 상호작용 에너지는 40kJ㏖로 크며, 또 이 상호작용으로 에탄올의 O-H결합이 활성화된다는 것을 알았다.
다음으로 비스(히드록시에틸)루베안산구리의 촉매활성을 조사했다. 전기화학 측정으로 은염화 은전극 기준으로 0.41V 및 0.71V에 EER에 의한 산화 전류의 증대가 보였다. 이것은 산화딘 루베안산구리가 촉매로서 에탄올과 반응했기 때문이라고 생각된다. 또 이 반응으로 아세트알데히드의 생성이 확인되어 에탄올은 아세트알데히드로 2전자 산화된다는 것을 알았다.
이 보고는 최근 연구가 한창인 배위고분자를 이용했다. 최초의 전기화학반응의 예이며, 0.4V라는 낮은 전위에서 산화반응이 일어난다는 점에서 EER전극 촉매로서의 응용을 기대할 수 있다. 백금이나 로듐과 같은 백금족 원소를 포함하지 않는 비스(히드록시에틸)루베안산구리는 원소 전략적으로도 유망한 재료이다. CJ

지중격리 이산화탄소 매장이 가진 잠재적 위험요소와 안전한 매장 방식을 찾기 위한 Duke University와 NETL의 공동연구
Duke University(DU)는 미에너지부(DOE: Department of Energy)소속의 미국 국립에너지 기술연구소(NETL: National Energy Technology Lab)와 함께 이산화탄소의 지중격리와 이산화탄소 주입이 다양한 지질계통에 미치는 영향에 대한공동연구를 수행하고 그 결과를 발표했다. DU와 DOE의 공동연구결과는 Environmental Science & Technology에 개제되었다.(doi: 10.1021/es102235w). ‘지중격리 방식으로 저장된 이산화탄소의 누설이 대수층에 미치는 잠재적 영향(Potential Impacts of Leakage from Deep CO2 Geosequestration on Overlying Freshwater Aquifers)’이라는 제목의 이 논문은 연구결과 이외에도 지중격리 방식으로 저장된 이산화탄소의 누설에 대비한 최신의 이산화탄소 감지기술에 대한 정보를 소개하고 있다. NETL의 연구원들에 따르면 그들은 이산화탄소를 포함한 지각샘플을 다양한 대수층에 300일간 보존한 후 각각의 대수층 지하수의 특성변화를 분석하였으며 그 결과 샘플 주변 지하수의 이산화탄소농도와 금속농도가 증가함을 발견했다. 이를 통해 연구팀은 이산화탄소의 지중격리 매장 시 이산화탄소의 누출에 의한 지하수 오염 가능성에 대한 심각한 고려가 필요하다는 결론을 내렸다. 이 결과는 이산화탄소의 지중격리 장소의 선정에 있어 매장지의 지질학적 구조와 지질계통을 신중하게 고려해야 한다는 NETL와 그밖의 DOE소속 연구소들의 공동연구결과를 증명해 주고 있다. DU의 연구원들은 이산화탄소 누출에 의한 지하수 오염 감시를 위해 PH농도와 함께 철저히 모니터링 되어야 원소로 망간, 아연, 칼슘의 세 가지 원소를 지정했다. 이산화탄소 포집 및 저장(CCS: CO2 Capture & Storage)에는 이산화탄소를 분리, 압축, 운송하기 위해 다양한 기술이 사용된다. 이산화탄소의 지중격리에 있어 해결되어야 할 가장 먼저 해결되어야 할 숙제는 지하 수 오염의 우려 없이 이산화탄소를 저장하는 방법을 개발하는 것이다. “마시는 물로 사용되는 지하수의 오염우려는 이산화탄소 지중격리를 어렵게 하는 요소로 이산화탄소매장지 선정 시 지역주민 반대의 원인이 되고 있습니다.” DU의 생물학과 교수이자 기후변화센터의 책임자인 Robert Jackson은 이야기 했다. “우리는 매우 깊은 지하에서 조금씩 누설되는 이산화탄소가 지표면 인근의 지하수를 오염시키는지 시킨다면 무슨 이유에서 인지에 대해 연구했습니다.” DU와 NETL의 연구팀은 침투성이 낮은 덮개암이 있는 이상적인 매장지 선정과 적절한 건설재료사용, 그리고 적절한 환경유지가 모두 이루어질 때에 이산화탄소의 지중격리의 안전성이 보장된다는 결론을 내렸다. “우리 연구팀은 이산화탄소를 포함한 지각 샘플이 지하수에 미치는 영향에 대한 조사를 통해 이산화탄소 지중격리에 의해 발생 할 수 있는 지하수 오염의 잠재적 위험에 대한 실체와 함께 이러한 위험을 피할 수 있는 안전한 이산화탄소 저장도 가능함을 확인했습니다. ACB

고순도 SiC제품을 개발
반도체용으로 응용
(주) 브리지스톤은 반도체 제조 프로세스에 가장 적합한 고순도 SiC(탄화규소)제 지그 제품을 개발했다. 최근의 반도체 제조에서는 보다 고온 하이면서 더 높은 부식성 환경의 사용 기회가 증대하고 있다. 그 지그 제품에는 지금까지 석영 등이 활용되어 왔으나 내구성이 충분치 않아 빈번한 부품 교환이 필요해 환경부하의 증대가 문제시되어 왔다. 그 해결책으로서 고내열성, 고내식성이며 동시에 구성원소가 반도체에 무해한 SiC에 LEO가 모아지고 있는데, 종래의 SiC는 반도체 분야가 요구하는 고순도의 달성이 곤란했다. 그래서 그 극복을 위헤 세라믹스 제조의 기본 프로세스인 ① 원료 분말의 합성 기술, ② 분말을 구워 굳히는 소결 기술, ③ 소결 후의 제품가공기술 등 세 가지에 대하여 종래 기술을 근본적으로 재검토하고 고순도의 달성을 위해 독창적인 신규 기반기술을 구축했다.
우선 ① 원료분말합성에서는 종래의 고상반응 대신에 새로운 발상으로서 Si원(源) 및 C원 모두 액상수지를 출발원료로 하는 방법을 생각했다. 구체적으로는 이 둘로 프리커서(전구체)를 합성하고 그 소성 반응에 따라 SiC 원료분말을 생성하는 것이다. 이 방법에서는 수지가 분해 . 산일(散逸)해 가는 과정에서 순화가 촉진되고 또 나노스케일의 균일성을 가진 고순도한 SiC원료분말이 생성된다.
다음으로 ② 소결기술에 있어서는 본래 SiC에 액상상태가 없어 소결 특성이 매우 떨어지는 재료인데, 금속계 조제(助劑)의 첨가가 일반적인 방법으로 활용되어 왔으나 반도체 용도에서는 그 조제가 오염의 원인이 되어 버린다. 따라서 금속계 조제를 대신할 새로운 소결기술으 탐색하여 비금속계 조제로서 페놀 등의 유기화합물의 첨가와 핫프레스를 적정하게 조합시킴으로써 소결 가능한 방법을 확립했다.
또한 ③ 제품가공기술에 대해서는 SiC는 높은 경도를 보유하고 있어 일반적인 기계가공으로는 장시간을 요하며 또 제품 손상의 기회도 많아진다. 따라서 보다 안정적이며 경제성이 높은 가공법으로서 독자의 성질인 높은 도전성을 살려 인가전압이나 와이어 재질 등을 최적화한 방전가공기술을 개발했다.
이상의 주요 기반기술을 조합시킨 최적의 양산 프로세스를 구축하고 현재 각종 반도체 제조 지그 제품을 제조하여 반도체 관련 유저에게 공급 중이다. 또 SiC재료는 제조용 지그뿐 아니라 그 단결정체는 파워디바이스나 고주파 디바이스의 기판 웨이퍼로서 상당히 주목되고 있다. 현재 이 회사에서는 고순도 원료분말 합성기술과 함께 더 고도한 단결정 성장과 웨이퍼 정밀가공 등의 기반기술의 개발을 추진하고 있다. CJ

Z형 육방정 페라이트
실온이며 약자장에서 전기자기 효과
大阪大學 基礎工學硏究科의 木村 剛교수 등의 연구팀은 스트론튬, 코발트, 철 및 산소로 된 페라이트 자석과 유사한 재료를 이용함으로써 보통은「전장(電場, 전압)」의 인가로 제어되는 전기분극을「실온」에서「약한 자장」의 인가로 제어시키는데 성공했다.
외부로부터 인가된 전장으로 물질에 자화(磁化)가 일어나는 현상, 또 거꾸로 외부로부터 인가된 자장에 의해 물질에 전기분극이 일어나는 현상은「전기자기효과」라고 부르며, 거슬러 올라가면 19세기 말 프랑스 과학자 피에르 퀴리의 제안에서 발단이 되며, 1960년대부터 1970년대에 걸쳐 몇몇 선구적인 연구가 이루어졌다. 전기자기효과를 이용하면 전장(자장)의 제어로 자기(강유전) 도메인을 스위치시키는 신규 디바이스와 빛의 편광제어를 전장 및 자장으로 실시하는 자기광학소자 등에 대한 응용을 기대할 수 있다. 따라서 최근 기초 및 응용 두 가지 면에 대한 흥미로 정력적으로 연구가 추진되고 있다. 그러나 지금까지 보고된 재료에서는 실온보다 훨씬 낮은 온도에서만 전기자기효과를 관측할 수 있었다. 또한 이들 재료의 전기자기 효과 발현을 위해서는 수만 가우스라는 상당히 강한 자장을 필요로 하고 있었다. 이러한 이유들 때문에 지금가지 전자기 효과를 응용한 실용적인 각종 디바이스, 메모리 등을 구성하기 곤란했다.
이번에 「Z형 육방정 페라이트」라고 불리는 스트론튬, 코발트, 철 및 산소로 된 산화물 세라믹스(화학식 Sr3Co2Fe24O41)가 실온 영역 동시에 수백 가우스라는 약한 자장의 인가로 현저한 전기자기 효과를 보인다는 것을 발견했다. 이번 성과로 실온에서 약자장으로 동작하는 전기자기 효과가 실현되었고, 이 효과를 이용한 메모리 소자 등의 전자 디바이스에 대한 응용을 위한 연구 . 개발이 가속화할 것으로 기대된다. 또 지금까지 페라이트 자석, 마이크로파 소자 또한 기가헤르츠 영역에서의 흡수체 등으로 이용되어 왔던 육방정 페라이트의 새로운 기능 개척이라는 의미에서도 앞으로의 연구 전개가 기대된다. CJ

나노의 블록 쌓기 세공으로 고성능 박막 콘덴서
(독)물질·재료연구기구 국제 나노아키테크토닉스 연구 거점의 長田 實 MANA 연구자, 佐タ木高義 주임연구자 등의 연구팀은 분자레벨의 얇은 두께(두께 : 1.5㎚)의 새로운 고유전체 시트를 발견하고 비커를 사용한 나노의 블록 쌓기 세공에서 세계 최고 성능의 박막 콘덴서 소자의 제작에 성공했다.
요즘의 휴대전화, 컴퓨터의 고성능화에 따라 콘덴서의 수요도 급속하게 늘고 있어, 소형이며 대용량, 고기능의 콘덴서 개발이 중요해지고 있다. 현재 콘덴서에는 티탄산바륨 등의 고유전체 세라믹스로 제작한 유전체 막이 사용되고 있고, 유전체 막을 박막화함으로써 소자의 소형화, 고성능화(대용량화)를 실현해 왔다. 그러나 현재의 고유전체 막에는 제조 프로세스에 의한 가공한계(박막화 한계)와, 나노사이즈로 박막화하면 유전율이 저하한다는 문제가 있어 이것이 더 높은 고성능화를 목표로 하는데 큰 장해가 되어 왔다.
이번에 연구팀은 소형, 고성능의 콘덴서 소자를 개발하는 새로운 방법으로 나노 레벨에서도 기능하는 고유전체의 탐색을 실시, 분자 레벨의 얇은 고유전체 시트(페로브스카이트 나노시트 (Ca,Sr)2Nb3O10)를 발견했다. 또한 환경 친화적인 수용액 프로세스를 이용한 나노의 블록 쌓기 세공으로 나노시트를 한 층씩 정밀하게 겹쳐 쌓아, 산화물과 백금의 전극 기판 위에 고품위의 적층박막소자를 제작했다. 이렇게 제작한 박막 콘덴서 소자는 우수한 유전 특성을 가지며 막후 5~20㎚의 초박막 소자로 세계 최고의 유전율(210~240)과 낮은 리크 전류특성(10-8A/㎠ 이하)을 실현했다.
이번 성과는 고유전체 나노재료를 이용한 새로운 전자소자 제작 기술을 부여함과 동시에 페로브스카이트 나노 시트가 가진 고유전율, 낮은 리크 전류 특성이라는 특징을 이용한 대용량 콘덴서와 저소비전력형 메모리에 대한 응용전개를 기대할 수 있다. CJ

술을 사용하여 초전도 발현에 성공
(독)물질재료연구기구 초전도재료센터의 高 野義彦 등의 팀은 술을 이용하여 철계 초전도의 유발(誘發)에 성공했다. 여러 가지 술로 실험한 결과, 가장 효율적으로 초전도가 출현한 것이 적포도주였다는 것이 보고되었다. 최근 발견한 철계 초전도체는 구리 산화물 고온초전도체에 이은 제2의 고온초전도가 될 것으로 기대되어 세계적으로 정력적인 연구가 이루어지고 있다. 철계 초전도체 가운데 가장 심플한 결정구조를 갖는 것이 FeSe이다. FeSe는 초전도 전이온도 Tc가 약 10K인 초전도체인데, 압력을 가하면 Tc~37K까지 비약적으로 상승한다는 것이 최근 밝혀져 주목을 끌고 있다.
이 FeSe와 결정구조가 대단히 유사한 것으로 FeTe가 있는데, 반강자성체로 초전도는 나타내지 않는다. 일반적으로 자기질서가 존재하면 초전도가 발현되지 않는다. 그래서 고상반응법(固相反應法)으로 이온 반경이 작은 S를 20% 도프한 FeTe0.8S0.2를 작성한 결과, 자기질서의 억제에는 성공했으나 유감스럽게도 초전도는 발현하지 않았다. 그러나 그 시료를 잠시 대기 중에 방치한 결과, 며칠 후에는 놀랍게도 초전도체가 되어 있었던 것이다. 이 현상을 자세히 조사했더니 물과 산소가 공존하면 초전도가 발현하기 쉬워진다는 것을 알았다. 그러나 양질의 초전도가 출현하려면 몇 개월이나 시간이 필요하다. 따라서 좀 더 단시간에 효율적으로 초전도를 유발시키는 좋은 액체는 없을까 하며, 예를 들면 수산기 OH-등이 포함된 액체, 메탄올, 에탄올 등을 실험했는데, 기대한 효과는 얻지 못했다.
그 무렵 우연히 연구실에서 파티가 있었는데, 혹시 술로 초전도가 발현할지도 모른다는 생각에 실제로 실험해 보았다. 사용한 술은 적포도주, 백포도주, 맥주, 청주, 위스키, 소주 등 6종류이다. 각각의 술과 비교를 위해 순수(純粹), 물에탄올 혼합 용액, 무수(無水) 에탄올에 시료를 담가 70℃에서 24시간 가온했다. 그림에 자화율로 어림잡은 초전도 체적률을 나타내었다. 물에탄올 혼합 용액의 경우는 알코올 농도에 의존하지 않고 초전도 체적률이 10% 전후로 적은 데 비해 술의 경우는 가장 적은 소주에서도 그것의 2-3배, 그리고 가장 큰 적포도주는 무려 6-7배나 되었다. 에탄올 농도가 같은 정도인 적포도주, 백포도주, 청주에서 초전도 체적률에 큰 차이가 있다는 점에서 술에 포함된 물에탄올 이외의 성분이 초전도 발현에 기여하고 있다는 것을 알 수 있다. 高野 등은「생각이 떠오른 것은 무엇이든 해 보는 것이 중요합니다. 앞으로 술과 시료의 반응 전후의 성분분석을 실시하여 초전도 발현의 메커니즘을 해명하고 싶습니다」라고 말하고 있다. CJ

(그림) 여러 가지 술에 70℃ 24시간 담군 시료의 초전도 체적률

미약자기센서
고온초전도재 사용하여 싸게
國際超傳導産業技術硏究센터(ISTEC) . 超傳導工學硏究所의 田邊圭一 부소장 등은 값싼 액체질소로 차게 할 수 있는 고온초전도재료를 사용하여 미약한 자기를 검출하는 센서를 개발했다. 뇌 등에서 희미하게 나오는 자기도 분별한다. 뇌나 심장의 활동을 조사하는 의료기기와 땅 속의 레어메탈(희소금속)을 탐색하는 장치로 실용화를 꾀한다.

◇ 超傳導工學硏 의료기기를 소형화
科學技術振興機構(JST)와 석유천연가스 . 금속광물자원기구(JOGMEC)등의 연구예산을 사용했다.
개발한 것은 초전도 양자간섭소자(SQUID)라고 부르는 자기센서. 절대온도 77도(섭씨 마이너스 196도)의 애체질소로 차게 한 전기저항 제로의 초전도 상태에서 사용한다.
초전도 재료와 전기가 통하지 않는 절연체를 조합시켜서 자기를 감지하여 흐르는 전기를 측정한다. 반도체 소자의 제조기술을 사용하여 초전도 재료인 레어어스(희토류) . 바륨 . 구리 산화물과 구리 함유량이 적은 절연체의 박막을 적층하여 만들었다. 뇌에서 새어나오는 10펨트테슬러의 미약한 자장을 검출할 수 있다.
감도가 같은 정도인 자기센서는 이미 실용화하여 일부 병원에서 뇌의 모양을 알아보는 의료기기에 사용되고 있다. 단지 지금까지는 자기센서를 니오브의 초전도 재료로 만들었기 때문에 고가인 액체 헬륨을 사용하여 동 4.2도(동 마이너스 269도)까지 차갑게 만들 필요가 있었다.
액체 헬륨 대신에 액체 질소를 사용할 수 있게 되면 냉각구조가 간단해진다. 뇌나 심장의 자기를 측정하는 의료기기를 소형화할 수 있다.
저가화에도 도움이 된다. 1대에 1억 ~ 2억 엔이던 의료기기가 몇 % 싸지고, 운전비용은 10분의 1 이하로 가능해질 것으로 보고 있다. JOGMEC와 손잡고 이 자기센서를 희토류 금속 등의 광물 탐사에도 응용한다. 일경산업

단단한 반도체 재료
자외광으로 평평하게 연마
熊本大學의 峠陸교수와 久保田章龜 조교 등은 차세대 반도체 재료로 기대되는 탄화규소(SiC) 등의 단단한 소재를 자외광으로 평평하게 연마하는 기술을 개발했다. 자외광으로 표면을 산화하고 약품으로 제거한다. 종래보다 쉽게 손상되지 않으며 소재를 낭비하는 일 없이 제품에 이용할 수 있다. 소재 메이커와 반도체 장치 메이커 등에 채용을 권유한다.
SiC와 질화갈륨(GaN)은 절전효과가 높은 파워 반도체용 재료로 주목받고 있다. 정밀부품에 사용하려면 표면의 요철을 없앨 필요가 있다. 결함품을 줄이고 완성도를 높이기 위해서이다. 단 SiC와 GaN은 단단하여 화학적으로 안정되어 있기 때문에 가공하기가 어렵다.
연구팀은 소재에 특정한 파장의 자외광을 조사하면 표면이 산화되는 현상을 응용했다. 자외광에 의해 전자가 빠져서 구멍(정공, 正孔)이 생긴다. 전자와 정공의 작용으로 산화한다. 연마용 화학약품과 합성석영의 프레이트에서 연마하여 산화한 부분을 제거한다.
화학반응이 표면을 갈기 쉽도록 만들어 주기 때문에 잘 손상되지 않는다. 가공 시에 금속이나 유기물 등의 불순물이 쉽게 들어가지 않아서 가공 후의 세정 공정을 생략할 수 있다 제조 효율의 향상으로 이어진다.
실제로 SiC와 GaN의 표면을 연마하여 현미경으로 관찰하여 표면이 평탄해졌다는 것을 확인했다.
지금까지 다이아몬드나 금속산화물 등의 고운 알맹이를 문질러서 연마하는 방법이 있었는데, 소재의 표면이 쉽게 손상되었다.카본의 단단한 타입 등 다른 소재의 표면 가공에도 응용할 수 있으리라 보고 있다. 일경산업

금속 「제3의 상태」 발견
고온초전도에 길
東京大學과 미국 라트거스大學의 연구팀은 금속을 전자가 흐를 때에 지금까지 알려지지 않았던 상태가 있다는 것을 발견했다. 금속을 상온에서 전기가 흐르는 일반적인 현상과, 극저온에서 전기저항이 제로가 되는 초전도와는 다른 제3의 상태를 발견했다고 한다. 차게 하지 않아도 사용할 수 있는 초전도물질의 개발로 이어질 수 있을 듯하다.
東大의 中知 준교수, 松本洋介 조교, 原俊郞 교수 등의 성과.
현상은 레어어스(희토류)인 이테르븀 화합물을 절대 영도(섭씨 마이너스 273도) 가깝게 식히자 나타났다.
절대온도 2도(동 마이너스 271도) 부근에서 이테르븀의 궤도 사이를 흐르는 전자의 외관상 무게(유효질량)가 온도 저하에 따라 급격히 증가했다. 이 상태는 금속의 특이점이라고 불리며 이론적으로는 예상되었으나 실험에 의한 확인은 최초.
금속의 특이점은 불순물이나 초전도 상태에 방해를 받아 감추어져 있었지만, 시료의 신도를 높여 절대영도 부근까지 차게 함으로써 최초로 관찰할 수 있었다.
특이점은 초전도의 기원이라고 예상된다. 또 빛의 질량이 무한대가 되는 블랙홀에도 상당한다고 한다. 일경산업
단결정 구리 기판 위 고품질 그래핀 성장
현재의 다결정 구리 기판 위의 그래핀 성장은 큰 관심을 받고 있다. 이는 구리 기판은 상대적으로 저렴하고, 단일층 그래핀의 비율이 높기 때문이다. 하지만 성장된 그래핀은 전사 과정 이후 다른 방법에 의해 성장된 그래핀에 비해 낮은 전자 이동도를 기록하고 있다. 따라서 단결정 구리 기판을 이용하여 고품질의 그래핀을 얻고, 동시에 높은 특성을 얻고자 하는 노력이 이어지고 있다.
미국 The Ohio State University의 연구진은 단결정 구리 박막 기판 위에 고품질의 그래핀 기술을 발표했다. 연구 결과는 2011년 3월 17일 APL지에 “High quality, transferrable graphene grown on single crystal Cu(111) thin films on basal-plane sapphire”란 제목으로 게재됐다.
연구진은 먼저 열증착법을 통해 사파이어 기판 위에 400 nm 두께의 구리 박막을 형성했다. X선선 회절 실험(XRD; X-Ray Diffraction) 을 통해, (111) 방향의 단결정 구리임을 확인할 수 있었다 (그림 1. 참조). 사파이어 기판 위에 성장되는 구리 박막은 보통 다결정 물질인데, 연구진은 240~300℃의 증착 온도 범위 내에서 단결정을 위한 최적의 조건을 찾는데 성공했다.
준비된 구리/사파이어 기판을 1000℃의 온도에서 화학기상장치(CVD; Chemical Vapor Depostion)시스템에 넣고, 메탄과 수소를 주입하여 그래핀을 성장할 수 있었다. 다결정 구리 기판의 경우, 그래핀 성장 조건하에서 “dewetting” 현상을 피할 수 있는 최소 두께는 500 nm로 보고됐지만, 단결정의 경우 400 nm 이하의 두께에서도 안정한 박막 상태를 유지할 수 있었다.
그림 2.는 그래핀 성장 후 측정된 라만 스펙트럼으로, 70 um x 70 um 면적 위에서 측정된 2D peak에 대한 반치폭 맵핑을 살펴보면 45 cm-1 이하의 균일한 분포, 즉 균일한 품질의 그래핀임을 확인할 수 있었다. 연구진은 비교자료로 구리 호일 위에 성장된 그래핀에 대한 라만 스펙트럼을 제시함으로써, 결함 상태가 거의 없는 균일한 그래핀 성장이 가능하다고 설명했다.
연구진은 비용 절감을 위해 Cu의 사용을 줄일 수 있으며, 사파이어 기판의 경우 재사용이 가능하다. 다시 말해, CVD 기반의 그래핀 성장 기술 중 가장 높은 품질의 균일한 그래핀 성장이 가능하다고 밝혔다. 하지만 연구진이 제시한 다결정 기판 위 그래핀에 관한 라만 스펙트럼은, 결함 상태 중 하나인 wrinkle 위에서 측정됐으며, 단결정 기판 위에 성장된 경우 대면적이 아닌 좁은 영역에 대한 균일도에 대해 언급하지 않았다. 또한 구리 호일 자체는 상업적으로 쉽게 이용 가능하지만, 단결정 구리를 성장하기 위해서는 섬세한 조건을 이용해야 하므로 오히려 단점이 될 수 있다. GTB

그림 1. (a) 사파이어 기판 위에 증착된 구리 박막의 XRD 패턴으로, (111), (222) 방향만을 갖는다. (b) EBSD 패턴으로 (111) 방향만을 갖는다.

그림 2. (a) 그래핀 성장 후, 세 지점 위에서 측정된 라만 스펙트럼. (b) 2D 신호에 대한 반치폭(FWHM; Full Width Half Maximum) 맵핑

백색 LED 형광체 참여
住友鑛山, 東北大와 개발
住友金屬鑛山은 백색발광다이오드(LED)용 형광체 사업에 뛰어들었다. 東北大學의 垣花眞人 교수의 연구팀과 공동으로 빛의 변환효율을 통상의 1.3배~2배 이상으로 높인 형광체를 개발했다. 양산기술에는 거의 전망이 섰으며, 앞으로는 사업화를 위해 세부 내용을 밝혀낼 계획이다. 저가이며 휘도가 높은 형광체로 판로를 확장한다.
개발한 것은 파장이 420나노미터의 빛을 쏘면 청록색으로 발광하는 청록색 형광체. 405나노미터의 빛을 쏘았을 때의 빛의 변환효율은 일반적인 형광체가 30~50%인데 대해 67%에 달한다고 한다.
백색 LED는 청록색 형광체와 청색을 황색으로 변환하는 형광체를 조합시켜 만든다. 변환용 형광체에 대해서도 빛의 강도를 시판품의 약 1.5배로 높인 형광체를 개발했다.
신개발 형광체는 원료를 액체 상태에서 섞어 구워서 굳히는 새로운 제법으로 만든다. 원료를 원자 레벨에서 균일하게 혼합할 수 있다는 것이 특징. 일반적으로는 원료의 분말을 가열하여 만든다고 한다.
이 회사가 형광체 제조에 나서기는 처음. 제조 장소 등 세부 사항을 연구하여 조기 시장 투입을 도모한다. 일경산업

금속박막, 내열 1000도 이상
센서 전극에 응용
産業技術總合硏究所의 秋山守人 연구팀장 등은 섭씨 1천도를 넘는 고온에 견디며 전기를 통과시키는 금속박막의 제작기술을 개발했다. 2종류의 금속박막을 만들어서 합금으로 한다. 제트엔진이나 제철소의 고온로 등의 이상을 검출하는 센서의 전극에 응용을 목표로 한다.
종래의 박막은 섭씨 1천도를 넘으면 공기 중의 산소나 질소와 반응하기 쉬워져 붙인 기판에서 벗겨지는 문제가 있었다.
새 제법은 내열재료인 지르코니아 기판에 두께 약 100나노미터의 루테늄 박막, 그 위에 같은 두께의 텅스텐 박막을 제작. 섭씨 1450도에서 1시간 가열하면 루테늄과 텅스텐 합금이 된다. 가열실험에서는 도전성을 유지하며 벗겨지거나 갈라지거나 하지 않는다는 것을 확인했다.
루테늄 대신에 다른 백금족 원소인 로듐이나 백금을 텅스텐 대신에 크롬이나 니켈 등 다른 고융점 금속을 이용하도 같은 성능을 얻을 수 있으리라 보고 있다.
제트엔진이나 발전용 터빈, 제철소의 고온로 등의 주변은 섭씨 1천도를 넘는 고온이 된다. 고장을 검지하기 위해 진동이나 압력 등을 상시 조사할 수 있는 센서가 요구되었다. 그러나 섭씨 1천도 이상에서 이용할 수 있는 센서는 없어 운전을 정지하고 검사할 수밖에 없었다. 秋山연구팀장 등은 이번 기술을 센서에 응용하는 이외에 앞으로 섭씨 2천도 이상에도 견딜 수 있는 금속박막의 개발을 목표로 한다. 일경산업

메모리 소비전력 100억분의 1
특수현상, 상온에서 발견
東京大學 등은 컴퓨터의 소비전력을 대폭 줄일 수 있는 물리현상을 발견했다. 철합금의 내부에 전자가 자석처럼 움직이는 직경 수십 나노미터의 소용돌이 구조가 섭씨 2도에서 나타났다. 이 현상은 극저온에서만 일어난다고 생각되어 왔다.
저소비전력형 메모리로 개발이 추진 중인 MRAM(자기기록식 메모리)와 비교해도 소비전력이 100억분의 1로 낮아지는 궁극의 소자가 현실감을 띠기 시작한 것이라고 한다.
東大의 十倉好紀 교수와 소야뢰가문 강사, 과학기술진흥기구(JST)의 干秀珍 연구원 등, 물질재료연구기구, 이화학연구소의 공동성과.
전자는 자전(스핀)하여 자기를 발생하고 한 개의 미소한 자석이 된다. 연구팀은 철 . 게르마늄 합금을 두께 약 70나노미터 이하의 박막으로 만들었을 때, 면(面) 안에 전자의 자석이 모인 직경 약 70나노미터의 소용돌이 구조가 규칙적으로 늘어서는 현상을 확인했다.
이 현상은 다른 철계 합금을 사용하여 섭씨 마이너스 223도 이하의 극저온에는 확인된 바 있다. 이 현상은 이전부터 물리학자들 사이에서 예측되어「스킬미온 결정」이라는 명칭이 붙여져 있다. 이번에는 이 결정이 섭씨 2도에서도 나타났다.
소용돌이 구조는 외부에서 전압이나 자장을 주면 움직인다. 이 원리를 이용하면 새로운 방식의 자기 메모리 소자를 만들 수 있다. 소비전력은 현재 주류인 플래쉬 메모리보다도 낮은 차세대 MRAM을 크게 하회할 가능성이 있다. 또한 고온에서 현상이 나타날 수 있는 재료를 만들어 실용화를 도모한다. 일경산업