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[ 통권 186호 | ]

베릴륨 나이트라이드 박막 증착 성공
  • 편집부
  • 등록 2003-11-25 23:50:15
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멕시코의 국립 오토노마 대학의 연구진들은 펄스 레이저 증착을 이용하여 실리콘 기판위에 베릴륨 나이트라이드 박막을 증착하는데 성공했다고 밝혔다. 압력과 기판의 온도를 변화시키면서 베릴륨 포일을 N2 분위기에서 증발시켜 얻었다. 이번 실험에서 측정된 밴드갭(band gap) 값은 이전에 발표된 이론치와 상당히 일치하였다. (ACB)

 

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