세이코인스트루먼트(SII)는 탄소로 나노레벨의 미소한 펌프를 제작했다. 기판 위에 정밀제어하면서 탄소를 뿌려 쌓는 ‘집속이온빔(FIB)장치’를 사용하여 만든다. 미세한 유로(流路)를 이용하여 단백질의 움직임을 조사하는 진단칩에 시료를 주입하는 조작 등에 사용할 수 있다고 한다. 미소한 펌프는 높이가 2㎛ , 폭 1㎛. 밑에서 반구(半球)를 쌓아올리듯이 하여 만들었다. 펌프 양쪽에 밸브를 달아 늘였다 줄였다 하면 물 등을 보내는 펌프가 된다. 단백질 등을 분석하는 마이크로칩에 일정량만 시료를 보내는 펌프가 된다고 한다. 물을 뿜어냄으로써 움직이는 마이크로 머신 등의 제작도 가능하다. 뱀의 배와 같은 구조를 한 펌프는 접지 않아도 되기 때문에 미소한 관을 연결하는 조인트도 되리라고 보고 있다. SII는 프린터의 1/100이하인 직경 30㎚의 구멍을 가진 미소 노즐도 제작했다. FIB 장치로 만들 수 있는 다양한 구조와 그 용도를 구체적으로 제시하여 판매확대로 연결시킬 생각이라고 한다. (CJ)